用于微电子装置的 VNX 55-E 和 55-EX 模块

大流量模块，可以为微电子行业生产高纯水

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大流量模块，可以为微电子行业生产高纯水

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Description

VNX55-E 大流量模块采用成熟的 IONPURE® 连续电去离子 (CEDI) 技术来生产高纯水。优化性能以达到高回收率及满足微电子行业对超纯水的要求。

单台 VNX55-E 工业模块的名义流量为 55 gpm (12.5 m3/h)。

多台 55 gpm 模块简化了系统设计，可以实现高达 1000 gpm (227 m3/h) 甚至更大的流量。

保证实现 18 MΩ-cm 的产水电阻率，针对微电子行业和 UPW 系统进行了优化

二氧化硅和硼的去除率 ≥ 95%

钠和氯化物的去除率 ≥ 99.8%

对于抛光回路处理 98.5% - 99% 的回收率和高节水率

采用贯穿接口的垫片的耐用防漏密封

大流量模块可降低系统成本并简化机架设计

附带管接头

模块自带接线盒，用于连接直流电源

可提供 50 mm 对接焊天然聚丙烯套件和图纸

无需使用酸/碱及中和系统

与传统离子交换系统相比，极大地降低运行成本